对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体,其中常用的有20~30 种。根据有关数据显示,中国特种功能电子气体市场规模逐年增长,仅2016年,中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是,从产业链以及技术层面欧美国家占据较好的地位。
灭菌特种气体可杀灭细菌(及其内孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体的储存注意事项:储存高压气体≥300m,液化气≥3000kgs时,储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处,需设有安全警示牌。特种气体的储存注意事项:储存场地的道路,应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏,长期存放的充填高压容器需要每月复检一次,并做记录。
特种气体的储存注意事项:为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全隐患,存放场地需平坦,操作需谨慎、轻柔;并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。特种气体的重要性:正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大,应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。
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